1.
°¡½º ÃæÀü±¸ÀÇ Çü½Ä¿¡ µû¸¥
±¸ºÐ
·
A Çü : °¡½º ÃæÀü±¸°¡ ¼ö³ª»ç (Male thread)
·
B Çü : °¡½º ÃæÀü±¸°¡ ¾Ï³ª»ç (Female thread)
·
C Çü : °¡½º ÃæÀü±¸¿¡ ³ª»ç°¡ ¾ø´Ù.
2.
°¡½º ÃæÀü±¸´Â °¡¿¬¼º °¡½ºÀÇ °æ¿ì ¿Þ³ª»ç(LH, EXT.), ±× ¿Ü´Â ¿À¸¥ÂÊ ³ª»ç(RH, EXT.)
(¿¹¿Ü:
NH3, CH3Br˼
¿À¸¥³ª»ç)
3.
¿ë±â ¹ëºêÀÇ Àû´çÇÑ ºÎºÐ¿¡ Á¦Á¶ÀÚ¸í ¶Ç´Â ¾àÈ£, Á¦Á¶³â¿ù, Áß·® ¹× ³»¾Ð½ÃÇè
¾Ð·ÂÀ» ±âÀçÇÑ´Ù.
4.
¹ëºê¿¡´Â ¾ÈÀü¹ëºê(safety valve)¸¦ ºÎÂøÇÑ´Ù.
°ÇÑ
µ¶¼º°¡½ºÀÎ °æ¿ì ¾ÈÀü¹ëºê°¡ ¾ø´Â °Íµµ ÀÖ´Ù.
Comparison
Table of Valve Outlet
CGA
±Ô°Ý
|
320
|
326
|
330
|
350
|
510
|
540
|
K.S
±Ô°Ý
|
21
mm ¿ì
|
21
mm ¿ì
|
21
mm ÁÂ
|
21
mm ÁÂ
|
22.5
mm ÁÂ
|
23
mm ¿ì
|
CGA
±Ô°Ý
|
580
|
590
|
660
|
|
|
|
K.S
±Ô°Ý
|
24.5
mm ¿ì
|
24.5
mm ÁÂ
|
26
mm ¿ì
|
|
|
|
Valve
Outlet Specifications for gases
Gas
|
H2
|
He
|
CO2
|
O2
|
N2
|
Ar
|
Outlet
|
22
mm ÁÂ
|
21mm
ÁÂ
|
23mm
¿ì
|
23mm
¿ì
|
22mm
¿ì
|
22mm
¿ì
|
|
Gas
|
LASER
GAS
|
CH4
|
SF6
|
NH3
|
AsH3
|
BCl3
|
Outlet
|
21mm
ÁÂ
|
22mm
ÁÂ
|
24.5mm
ÁÂ
|
CGA
660
|
CGA
350
|
CGA
660
|
|
Gas
|
BF3
|
CF4
|
Cl2
|
B2H6
|
Si2H6
|
HCl
|
Outlet
|
CGA
660
|
CGA
320
|
CGA
660
|
CGA
350
|
CGA
350
|
CGA
330
|
|